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2025年中國MOCVD設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、發(fā)展現(xiàn)狀、重點企業(yè)及行業(yè)發(fā)展趨勢研判:產(chǎn)品在功率器件等諸多新興領(lǐng)域的逐步應(yīng)用,市場規(guī)模將進一步擴大[圖]

內(nèi)容概要:MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉淀,是在氣相外延生長的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。近年來,LED以其特性被廣泛運用于各類照明領(lǐng)域。作為LED產(chǎn)品關(guān)鍵部件,采用金屬有機氣相沉積(MOCVD)生產(chǎn)外延片過程產(chǎn)生大量的生產(chǎn)廢料。該廢料中含有發(fā)光材料所必需的元素鎵和銦對電子工業(yè)至關(guān)重要,鎵和銦其獨特的性能和有限的資源是其他材料及金屬所無法替代的。日益增長的消費需求以及對鎵和銦的大量需求的潛力,引發(fā)了全球競爭。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,綠色、清潔回收MOCVD生產(chǎn)廢料備受關(guān)注。在我國,回收MOCVD生產(chǎn)廢料中的有價金屬對保障我國戰(zhàn)略金屬供給安全具有重大意義。MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長。目前中國是全球最大的MOCVD設(shè)備需求市場。2024年,我國MOCVD設(shè)備保有量3142臺,出貨量310臺,市場規(guī)模28.06億元;預計2025年,我國MOCVD設(shè)備保有量約3352臺,出貨量約315臺,市場規(guī)模約28.35億元。隨著MOCVD設(shè)備在功率器件等諸多新興領(lǐng)域的逐步應(yīng)用,MOCVD設(shè)備市場規(guī)模將進一步擴大,前景廣闊。


上市企業(yè):中微公司(688012.SH)


相關(guān)企業(yè):中晟光電設(shè)備(上海)股份有限公司、實為半導體科技有限公司、塔半導體(安徽)有限公司、深圳新益昌海威真空設(shè)備有限公司、奧利光電設(shè)備科技(江西)有限公司、施科特光電材料(昆山)有限公司 、北京沁圓半導體設(shè)備有限公司


關(guān)鍵詞:MOCVD設(shè)備保有量、MOCVD設(shè)備出貨量、MOCVD設(shè)備市場規(guī)模、MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化率、MOCVD設(shè)備市場競爭格局、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢


一、MOCVD設(shè)備行業(yè)定義


MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition)金屬有機化合物化學氣相沉淀,是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延,生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。通常MOCVD系統(tǒng)中的晶體生長都是在常壓或低壓(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不銹鋼)反應(yīng)室中進行,襯底溫度為500-1200℃,用直流加熱石墨基座(襯底基片在石墨基座上方),H2通過溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機物到生長區(qū)。


因為MOCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì),并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料。因此在MOCVD系統(tǒng)的設(shè)計思想上,通常要考慮系統(tǒng)密封性,流量、溫度控制要精確,組分變換要迅速,系統(tǒng)要緊湊等。不同廠家和研究者所產(chǎn)生或組裝的MOCVD設(shè)備是不同的。一般由源供給系統(tǒng)、氣體輸運和流量控制系統(tǒng)、反應(yīng)室及溫度控制系統(tǒng)、尾氣處理及安全防護報警系統(tǒng)、自動操作及電控系統(tǒng)。

MOCVD設(shè)備的組成系統(tǒng)


二、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀


近年來,LED以其節(jié)能及環(huán)境友好等特性被廣泛運用于各類照明領(lǐng)域。作為LED產(chǎn)品關(guān)鍵部件,采用金屬有機氣相沉積(MOCVD)生產(chǎn)外延片過程產(chǎn)生大量的生產(chǎn)廢料。該廢料中含有發(fā)光材料所必需的元素鎵和銦,其中鎵通常以GaAs、GaN和InGaN的形式存在于芯片中。鎵和銦對電子工業(yè)至關(guān)重要,從工業(yè)應(yīng)用中銦被歸類為重要關(guān)鍵礦產(chǎn)資源,到供應(yīng)鏈稀缺性的潛在角度鎵和銦被歸為戰(zhàn)略金屬。其獨特的性能和有限的資源是其他材料及金屬所無法替代的。日益增長的消費需求以及對鎵和銦的大量需求的潛力,引發(fā)了全球競爭。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,綠色、清潔回收MOCVD生產(chǎn)廢料備受關(guān)注。


MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長。據(jù)統(tǒng)計2024年全球MOCVD設(shè)備保有量為5150臺,出貨量為411臺,市場規(guī)模為6.86億美元;預計2025年,全球MOCVD設(shè)備保有量為5650臺,出貨量為442臺,市場規(guī)模為7.09億美元。

2017-2025年全球MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)模


在我國,回收MOCVD生產(chǎn)廢料中的有價金屬對保障我國戰(zhàn)略金屬供給安全具有重大意義。我國LED產(chǎn)業(yè)開始于上世紀60年代末,經(jīng)過30多年的積累,我國已經(jīng)形成包括LED外延片的生產(chǎn)、LED芯片的制備、LED芯片的封裝以及LED產(chǎn)品應(yīng)用在內(nèi)的較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈。氮化鎵基LEDMOCVD主要用于生產(chǎn)氮化鎵基LED的外延片。目前氮化鎵基MOCVD設(shè)備約占全部MOCVD市場份額的80%左右,此外,MOCVD設(shè)備還可以應(yīng)用綠光LED、紅光LED、深紫外LED,以及MiniLED、MicroLED、功率器件等諸多新興領(lǐng)域,MOCVD設(shè)備的市場規(guī)模將進一步擴大,市場前景廣闊。


目前中國是全球最大的MOCVD設(shè)備需求市場。據(jù)統(tǒng)計,2024年,我國MOCVD設(shè)備保有量約3142臺,出貨量約310臺,市場規(guī)模約28.06億元;預計2025年,我國MOCVD設(shè)備保有量將達3352臺,出貨量將達315臺,市場規(guī)模將達28.35億元。

2017-2025年中國MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)模


相關(guān)報告:智研咨詢發(fā)布的《中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告


三、MOCVD設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈


LED產(chǎn)業(yè)鏈由襯底加工、LED外延片生產(chǎn)、芯片制造和器件封裝組成。該產(chǎn)業(yè)鏈中主要涉及的設(shè)備包括:襯底加工需要的單晶爐、多線切割機;制造外延片需要的MOCVD設(shè)備;制造芯片需要的光刻、刻蝕、清洗、檢測設(shè)備;封裝需要的貼片機、固晶機、焊線臺和灌膠機等。LED外延片的制備是LED芯片生產(chǎn)的重要步驟,與集成電路在多種核心設(shè)備間循環(huán)的制造工藝不同,主要通過MOCVD單種設(shè)備實現(xiàn)。因此,MOCVD設(shè)備是LED芯片生產(chǎn)和功率器件制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備。

MOCVD處于LED產(chǎn)業(yè)鏈中的位置


MOCVD設(shè)備主要用于制造化合物半導體材料,這些材料在功率半導體器件中有著廣泛的應(yīng)用。功率半導體器件,簡稱功率器件,又稱電力電子器件,屬于半導體產(chǎn)品中的分立器件。它是專門用于處理和控制大電流和高電壓的電子元器件。功率半導體器件是半導體行業(yè)的重要組成部分,在現(xiàn)代電力電子技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用。近年來,我國政府不斷出臺相關(guān)政策,推動半導體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,功率半導體器件行業(yè)迎來良好的發(fā)展機遇。近年來,隨著5G通信、新能源汽車、可再生能源、工業(yè)自動化等領(lǐng)域的快速發(fā)展,功率半導體器件市場需求不斷增加,市場規(guī)模不斷擴大。據(jù)統(tǒng)計,2024年,我國功率半導體器件市場規(guī)模約1070億元,需求量約1800億個,行業(yè)產(chǎn)值約435億元;預計2025年,我國功率半導體器件市場規(guī)模約1200億元,需求量約2000億個,行業(yè)產(chǎn)值約510億元。

2017-2025年中國功率半導體器件行業(yè)發(fā)展規(guī)模


MOCVD設(shè)備行業(yè)競爭格局


1、主要企業(yè)


MOCVD設(shè)備行業(yè)呈現(xiàn)高度壟斷的競爭格局。長久以來MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積)設(shè)備作為半導體照明產(chǎn)業(yè)鏈上游的關(guān)鍵制造設(shè)備,卻一直被國外維易科、愛思強兩家公司所壟斷,產(chǎn)業(yè)的健康和良性發(fā)展受到嚴重制約。國外典型MOCVD設(shè)備廠商對比情況具體如下:

國外典型MOCVD設(shè)備廠商對比


在2013年,中國MOCVD設(shè)備在國產(chǎn)化方面又向前邁進了一大步,在市場推廣方面取得了階段性的成果,包括中晟光電在內(nèi)的若干家公司所研制的MOCVD設(shè)備先后得到了各自用戶的認可和驗證。


隨著中國LED產(chǎn)能在全球的占比不斷提高,并且在新興產(chǎn)品領(lǐng)域布局速度也在不斷加快。隨著中國半導體照明市場規(guī)模迅速成長的情況下,作為行業(yè)上游關(guān)鍵制造設(shè)備的MOCVD,國產(chǎn)化MOCVD設(shè)備在市場推廣方面取得了階段性的成果。中微公司是中國半導體設(shè)備企業(yè)中極少數(shù)能與全球頂尖設(shè)備公司直接競爭并不斷擴大市場占有率的公司,是國際半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)界公認的后起之秀。我國MOCVD設(shè)備行業(yè)主要競爭主體為中微公司、中晟光電等國內(nèi)公司。

中國MOCVD行業(yè)主要企業(yè)及介紹


2、重點企業(yè)


1)、中微半導體設(shè)備(上海)股份有限公司


中微公司是我國半導體設(shè)備行業(yè)中的領(lǐng)先企業(yè),主營產(chǎn)品等離子體刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備作為光刻機之外的核心微觀加工設(shè)備,其制程步驟復雜度與工藝開發(fā)難度均在業(yè)內(nèi)處于突出地位。中微公司自2017年起已經(jīng)成為氮化鎵基LED市場份額最大的MOCVD設(shè)備供應(yīng)商,在Micro-LED和高端顯示領(lǐng)域的MOCVD設(shè)備開發(fā)及客戶驗證上取得了良好進展,并正在開發(fā)用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應(yīng)用的相關(guān)設(shè)備。


2024年,中微公司用于藍光照明的PRISMOA7、用于深紫外LED的PRISMOHiT3、用于Mini-LED顯示的PRISMOUniMax等產(chǎn)品持續(xù)服務(wù)客戶,持續(xù)保持國際氮化鎵基MOCVD設(shè)備市場領(lǐng)先地位。其中PRISMOUniMax產(chǎn)品自2021年6月正式發(fā)布以來,憑借其高產(chǎn)量、高波長均勻性、高良率等優(yōu)點,受到下游客戶的廣泛認可,在Mini-LED顯示外延片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域處于國際領(lǐng)先。在2022年推出的用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)應(yīng)用的MOCVD設(shè)備PRISMOPD5,目前已交付客戶進行生產(chǎn)驗證,并取得了重復訂單。除此之外,中微公司正在開發(fā)新一代氮化鎵功率器件應(yīng)用的MOCVD設(shè)備,將進一步提升設(shè)備性能,降低客戶生產(chǎn)成本,持續(xù)提升公司在氮化鎵基MOCVD設(shè)備領(lǐng)域的競爭力,預計2025年將付運至客戶進行驗證。據(jù)企業(yè)公告數(shù)據(jù)顯示,2024年,中微公司半導體設(shè)備營業(yè)收入90.65億元,營業(yè)成本53.43億元,毛利率41.06%。

2017-2024年中微公司半導體設(shè)備行業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀


2)、光電設(shè)備(上海)股份有限公司


中晟營業(yè)務(wù)為自主品牌的MOCVD設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,以及相應(yīng)的售后服務(wù),包括設(shè)備安裝調(diào)試、設(shè)備維修和后續(xù)升級等。當前業(yè)務(wù)聚焦化合物半導體生產(chǎn)中最為關(guān)鍵的金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設(shè)備與技術(shù)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,目前已建立MOCVD設(shè)備與技術(shù)的核心體系,基于當下并且面向未來市場,推出多類產(chǎn)品,可分別應(yīng)用于深紫外/化合物半導體材料生長與研究、GaN功率/射頻器件、GaAs/InP分立器件、SiC功率器件的外延生產(chǎn)。公司具有豐富的半導體裝備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的成功經(jīng)驗,研發(fā)人員占比超過37%,形成了可持續(xù)創(chuàng)新的成員梯隊及相關(guān)的研發(fā)和創(chuàng)新能力。

中晟光電設(shè)備行業(yè)發(fā)展歷程


、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢


金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)是制備LED、半導體激光器和大功率電子器件的關(guān)鍵技術(shù)。隨著半導體照明產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,MOCVD外延片的產(chǎn)率和良率成為制約該行業(yè)發(fā)展的瓶頸。改進并研發(fā)高質(zhì)量的多片式MOCVD反應(yīng)器,對于半導體照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展至關(guān)重要。


LED技術(shù)仍在不斷升級,MOCVD設(shè)備在LED芯片領(lǐng)域仍有增長空間。除此之外,MOCVD設(shè)備已經(jīng)在光電子材料和器件等研究和生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用,,因此MOCVD設(shè)備未來市場前景依然良好。

MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢


以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢(techappsinsider.com)發(fā)布的《中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu),提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號,每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。

本文采編:CY315
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2025-2031年中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告
2025-2031年中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告

《2025-2031年中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告》共四章,包含MOCVD設(shè)備企業(yè)主要競爭對手分析,中國MOCVD市場需求分析,中國MOCVD行業(yè)發(fā)展前景等內(nèi)容。

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