2025年中國MOCVD設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、發(fā)展現(xiàn)狀、重點企業(yè)及行業(yè)發(fā)展趨勢研判：產(chǎn)品在功率器件等諸多新興領(lǐng)域的逐步應(yīng)用，市場規(guī)模將進一步擴大[圖]

內(nèi)容概要：MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉淀，是在氣相外延生長的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。近年來，LED以其特性被廣泛運用于各類照明領(lǐng)域。作為LED產(chǎn)品關(guān)鍵部件，采用金屬有機氣相沉積(MOCVD)生產(chǎn)外延片過程產(chǎn)生大量的生產(chǎn)廢料。該廢料中含有發(fā)光材料所必需的元素鎵和銦對電子工業(yè)至關(guān)重要，鎵和銦其獨特的性能和有限的資源是其他材料及金屬所無法替代的。日益增長的消費需求以及對鎵和銦的大量需求的潛力，引發(fā)了全球競爭。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展，綠色、清潔回收MOCVD生產(chǎn)廢料備受關(guān)注。在我國，回收MOCVD生產(chǎn)廢料中的有價金屬對保障我國戰(zhàn)略金屬供給安全具有重大意義。MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長。目前中國是全球最大的MOCVD設(shè)備需求市場。2024年，我國MOCVD設(shè)備保有量3142臺，出貨量310臺，市場規(guī)模28.06億元；預計2025年，我國MOCVD設(shè)備保有量約3352臺，出貨量約315臺，市場規(guī)模約28.35億元。隨著MOCVD設(shè)備在功率器件等諸多新興領(lǐng)域的逐步應(yīng)用，MOCVD設(shè)備市場規(guī)模將進一步擴大，前景廣闊。

上市企業(yè)：中微公司(688012.SH)

相關(guān)企業(yè)：中晟光電設(shè)備（上海）股份有限公司、實為半導體科技有限公司、塔半導體（安徽）有限公司、深圳新益昌海威真空設(shè)備有限公司、奧利光電設(shè)備科技（江西）有限公司、施科特光電材料（昆山）有限公司 、北京沁圓半導體設(shè)備有限公司

關(guān)鍵詞：MOCVD設(shè)備保有量、MOCVD設(shè)備出貨量、MOCVD設(shè)備市場規(guī)模、MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化率、MOCVD設(shè)備市場競爭格局、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢

一、MOCVD設(shè)備行業(yè)定義

MOCVD（Metal-organicChemicalVaporDeposition）金屬有機化合物化學氣相沉淀，是在氣相外延生長（VPE）的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。通常MOCVD系統(tǒng)中的晶體生長都是在常壓或低壓（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不銹鋼）反應(yīng)室中進行，襯底溫度為500-1200℃,用直流加熱石墨基座（襯底基片在石墨基座上方），H2通過溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機物到生長區(qū)。

因為MOCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料。因此在MOCVD系統(tǒng)的設(shè)計思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。不同廠家和研究者所產(chǎn)生或組裝的MOCVD設(shè)備是不同的。一般由源供給系統(tǒng)、氣體輸運和流量控制系統(tǒng)、反應(yīng)室及溫度控制系統(tǒng)、尾氣處理及安全防護報警系統(tǒng)、自動操作及電控系統(tǒng)。

二、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

近年來，LED以其節(jié)能及環(huán)境友好等特性被廣泛運用于各類照明領(lǐng)域。作為LED產(chǎn)品關(guān)鍵部件，采用金屬有機氣相沉積(MOCVD)生產(chǎn)外延片過程產(chǎn)生大量的生產(chǎn)廢料。該廢料中含有發(fā)光材料所必需的元素鎵和銦，其中鎵通常以GaAs、GaN和InGaN的形式存在于芯片中。鎵和銦對電子工業(yè)至關(guān)重要，從工業(yè)應(yīng)用中銦被歸類為重要關(guān)鍵礦產(chǎn)資源，到供應(yīng)鏈稀缺性的潛在角度鎵和銦被歸為戰(zhàn)略金屬。其獨特的性能和有限的資源是其他材料及金屬所無法替代的。日益增長的消費需求以及對鎵和銦的大量需求的潛力，引發(fā)了全球競爭。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展，綠色、清潔回收MOCVD生產(chǎn)廢料備受關(guān)注。

MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長。據(jù)統(tǒng)計2024年全球MOCVD設(shè)備保有量為5150臺，出貨量為411臺，市場規(guī)模為6.86億美元；預計2025年，全球MOCVD設(shè)備保有量為5650臺，出貨量為442臺，市場規(guī)模為7.09億美元。

在我國，回收MOCVD生產(chǎn)廢料中的有價金屬對保障我國戰(zhàn)略金屬供給安全具有重大意義。我國LED產(chǎn)業(yè)開始于上世紀60年代末，經(jīng)過30多年的積累，我國已經(jīng)形成包括LED外延片的生產(chǎn)、LED芯片的制備、LED芯片的封裝以及LED產(chǎn)品應(yīng)用在內(nèi)的較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈。氮化鎵基LEDMOCVD主要用于生產(chǎn)氮化鎵基LED的外延片。目前氮化鎵基MOCVD設(shè)備約占全部MOCVD市場份額的80%左右，此外，MOCVD設(shè)備還可以應(yīng)用綠光LED、紅光LED、深紫外LED，以及MiniLED、MicroLED、功率器件等諸多新興領(lǐng)域，MOCVD設(shè)備的市場規(guī)模將進一步擴大，市場前景廣闊。

目前中國是全球最大的MOCVD設(shè)備需求市場。據(jù)統(tǒng)計，2024年，我國MOCVD設(shè)備保有量約3142臺，出貨量約310臺，市場規(guī)模約28.06億元；預計2025年，我國MOCVD設(shè)備保有量將達3352臺，出貨量將達315臺，市場規(guī)模將達28.35億元。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告》

三、MOCVD設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

LED產(chǎn)業(yè)鏈由襯底加工、LED外延片生產(chǎn)、芯片制造和器件封裝組成。該產(chǎn)業(yè)鏈中主要涉及的設(shè)備包括：襯底加工需要的單晶爐、多線切割機；制造外延片需要的MOCVD設(shè)備；制造芯片需要的光刻、刻蝕、清洗、檢測設(shè)備；封裝需要的貼片機、固晶機、焊線臺和灌膠機等。LED外延片的制備是LED芯片生產(chǎn)的重要步驟，與集成電路在多種核心設(shè)備間循環(huán)的制造工藝不同，主要通過MOCVD單種設(shè)備實現(xiàn)。因此，MOCVD設(shè)備是LED芯片生產(chǎn)和功率器件制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備。

MOCVD設(shè)備主要用于制造化合物半導體材料，這些材料在功率半導體器件中有著廣泛的應(yīng)用。功率半導體器件，簡稱功率器件，又稱電力電子器件，屬于半導體產(chǎn)品中的分立器件。它是專門用于處理和控制大電流和高電壓的電子元器件。功率半導體器件是半導體行業(yè)的重要組成部分，在現(xiàn)代電力電子技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用。近年來，我國政府不斷出臺相關(guān)政策，推動半導體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，功率半導體器件行業(yè)迎來良好的發(fā)展機遇。近年來，隨著5G通信、新能源汽車、可再生能源、工業(yè)自動化等領(lǐng)域的快速發(fā)展，功率半導體器件市場需求不斷增加，市場規(guī)模不斷擴大。據(jù)統(tǒng)計，2024年，我國功率半導體器件市場規(guī)模約1070億元，需求量約1800億個，行業(yè)產(chǎn)值約435億元；預計2025年，我國功率半導體器件市場規(guī)模約1200億元，需求量約2000億個，行業(yè)產(chǎn)值約510億元。

四、MOCVD設(shè)備行業(yè)競爭格局

1、主要企業(yè)

MOCVD設(shè)備行業(yè)呈現(xiàn)高度壟斷的競爭格局。長久以來MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積)設(shè)備作為半導體照明產(chǎn)業(yè)鏈上游的關(guān)鍵制造設(shè)備，卻一直被國外維易科、愛思強兩家公司所壟斷，產(chǎn)業(yè)的健康和良性發(fā)展受到嚴重制約。國外典型MOCVD設(shè)備廠商對比情況具體如下：

在2013年，中國MOCVD設(shè)備在國產(chǎn)化方面又向前邁進了一大步，在市場推廣方面取得了階段性的成果，包括中晟光電在內(nèi)的若干家公司所研制的MOCVD設(shè)備先后得到了各自用戶的認可和驗證。

隨著中國LED產(chǎn)能在全球的占比不斷提高，并且在新興產(chǎn)品領(lǐng)域布局速度也在不斷加快。隨著中國半導體照明市場規(guī)模迅速成長的情況下，作為行業(yè)上游關(guān)鍵制造設(shè)備的MOCVD，國產(chǎn)化MOCVD設(shè)備在市場推廣方面取得了階段性的成果。中微公司是中國半導體設(shè)備企業(yè)中極少數(shù)能與全球頂尖設(shè)備公司直接競爭并不斷擴大市場占有率的公司，是國際半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)界公認的后起之秀。我國MOCVD設(shè)備行業(yè)主要競爭主體為中微公司、中晟光電等國內(nèi)公司。

2、重點企業(yè)

1）、中微半導體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微公司是我國半導體設(shè)備行業(yè)中的領(lǐng)先企業(yè)，主營產(chǎn)品等離子體刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備作為光刻機之外的核心微觀加工設(shè)備，其制程步驟復雜度與工藝開發(fā)難度均在業(yè)內(nèi)處于突出地位。中微公司自2017年起已經(jīng)成為氮化鎵基LED市場份額最大的MOCVD設(shè)備供應(yīng)商，在Micro-LED和高端顯示領(lǐng)域的MOCVD設(shè)備開發(fā)及客戶驗證上取得了良好進展，并正在開發(fā)用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應(yīng)用的相關(guān)設(shè)備。

2024年，中微公司用于藍光照明的PRISMOA7、用于深紫外LED的PRISMOHiT3、用于Mini-LED顯示的PRISMOUniMax等產(chǎn)品持續(xù)服務(wù)客戶，持續(xù)保持國際氮化鎵基MOCVD設(shè)備市場領(lǐng)先地位。其中PRISMOUniMax產(chǎn)品自2021年6月正式發(fā)布以來，憑借其高產(chǎn)量、高波長均勻性、高良率等優(yōu)點，受到下游客戶的廣泛認可，在Mini-LED顯示外延片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域處于國際領(lǐng)先。在2022年推出的用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)應(yīng)用的MOCVD設(shè)備PRISMOPD5，目前已交付客戶進行生產(chǎn)驗證，并取得了重復訂單。除此之外，中微公司正在開發(fā)新一代氮化鎵功率器件應(yīng)用的MOCVD設(shè)備，將進一步提升設(shè)備性能，降低客戶生產(chǎn)成本，持續(xù)提升公司在氮化鎵基MOCVD設(shè)備領(lǐng)域的競爭力，預計2025年將付運至客戶進行驗證。據(jù)企業(yè)公告數(shù)據(jù)顯示，2024年，中微公司半導體設(shè)備營業(yè)收入90.65億元，營業(yè)成本53.43億元，毛利率41.06%。

2）、中晟光電設(shè)備（上海）股份有限公司

中晟營業(yè)務(wù)為自主品牌的MOCVD設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，以及相應(yīng)的售后服務(wù)，包括設(shè)備安裝調(diào)試、設(shè)備維修和后續(xù)升級等。當前業(yè)務(wù)聚焦化合物半導體生產(chǎn)中最為關(guān)鍵的金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）設(shè)備與技術(shù)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前已建立MOCVD設(shè)備與技術(shù)的核心體系，基于當下并且面向未來市場，推出多類產(chǎn)品，可分別應(yīng)用于深紫外/化合物半導體材料生長與研究、GaN功率/射頻器件、GaAs/InP分立器件、SiC功率器件的外延生產(chǎn)。公司具有豐富的半導體裝備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的成功經(jīng)驗，研發(fā)人員占比超過37%，形成了可持續(xù)創(chuàng)新的成員梯隊及相關(guān)的研發(fā)和創(chuàng)新能力。

五、MOCVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢

金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)是制備LED、半導體激光器和大功率電子器件的關(guān)鍵技術(shù)。隨著半導體照明產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，MOCVD外延片的產(chǎn)率和良率成為制約該行業(yè)發(fā)展的瓶頸。改進并研發(fā)高質(zhì)量的多片式MOCVD反應(yīng)器，對于半導體照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展至關(guān)重要。

LED技術(shù)仍在不斷升級，MOCVD設(shè)備在LED芯片領(lǐng)域仍有增長空間。除此之外，MOCVD設(shè)備已經(jīng)在光電子材料和器件等研究和生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用，，因此MOCVD設(shè)備未來市場前景依然良好。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（techappsinsider.com）發(fā)布的《中國MOCVD設(shè)備行業(yè)市場發(fā)展規(guī)模及投資機會分析報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。